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            內(nèi)應力的測量方法-X射線衍射法

                用X射線衍射法可以測量出薄膜結(jié)構(gòu)的面間距,將測量值與材料的標準面間距相比可以求出薄膜的應變,從而求出薄膜的內(nèi)應力。為了使衍射峰不過于彌散,薄膜的厚度至少要數(shù)十納米以上。圖退火前后金剛石薄膜的X射線衍射圖。由圖可見,薄膜各晶面在退火前的峰位要大于退火后薄膜對應的峰位的角度。根據(jù)測得的角度可用布喇格公式
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